微流控芯片雖然被冠以芯片之名,但其與傳統的集成電路芯片相比,又有其區別和特點。 其早期是微系統通過微加工工藝,在不同材料的基片上加工出微米至亞毫米級的各種微結構單元,而后在微米尺度空間對流體進行操控,可以配合流體控制或分析儀器自動完成生物實驗室中的提取、擴增、萃取、標記、分離、分析,或者細胞的培養、處理、分選、裂解、分離分析等過程。
與其他集成電路芯片相比,微流控芯片有兩類芯片,一類是傳統的,使用機密機加工、微注塑等手段制備的塑料片,這一類還是依賴外接各種供液管路、檢測模塊等外接輔助設備,并不是真的意義上的芯片;另外一類是硅基的,主要使用微納加工工藝制備的集成了處理電路、液體驅動微系統結構、液相檢測電極等一系列執行器和傳感器的微流控芯片,擺脫外接輔助設備的限制,實現了片上集成微流控系統的功能。
從技術上看,傳統芯片主要是利用電學系統來實現控制,而微流控芯片還包含了電學、流體、傳感等一系列模塊。它的微系統通常是用來處理液體的。具體來講,就是在半導體上形成微流控,或者液體流通的一些微小通道,同時這個微通道要與微系統結構的可控電路緊密結合。簡單來講,微流控芯片是基于傳統的集成電路芯片,又做了一些適用于液體處理的微系統。
微流控芯片是基于應用工藝的定制型特殊流道結構部件,其通道結構和尺寸均與項目工藝需求相結合,屬定制型結構件。
技術參數:
流量范圍(ml/min): 0.1~200
壓力范圍(MPa): 0-25
溫度控制(℃): 4~100℃
流量設定誤差%(ml/min): ≤±1%
流量重復性誤差%(ml/min): ≤1%
壓力脈動(MPa): ≤0.1
壓力準確度(MPa): ≤0.1
芯片通道尺寸: 20um~3mm
微流控芯片是利用微加工技術由硅、玻璃、石英、有機聚合物和復合材料制成的,列舉了制造中所用的各種材料及其優點:
材料 | 制備方法 | 優點 |
玻璃,石英 | 光刻、蝕刻技術 | 重復使用,具有良好透光性和電絕緣性 |
硅 | 蝕刻技術 | 工藝成熟,具有良好穩定性 |
聚二甲基硅氧烷 | 模塑技術 | 無毒、成本低、化學惰性高 |
光刻膠 | 光聚合 | 耐高溫,可重復使用 |
聚甲基丙烯酸甲酯 | 激光燒蝕 | 制備簡單,精度高 |
氟化乙烯丙烯 | 光刻 | 制備精度高,耐腐蝕 |
聚乙烯醇 | 光聚合 | 滲透性高,成本低 |
分析濾紙 | 印刷 | 成本低,方便攜帶 |